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한양대학교 서울캠퍼스 [[공과대학]] [[신소재공학부]] 교수이자 EUV-IUCC 센터장을 센터장, CH³IPS 혁신연구센터장을 맡고 있다.
[[나노공정 및 소자 연구실]]장이다.
==학력==
*1989 ~ 1992 Texas 주립 대학교 재료공학 공학박사
*1982 ~ 1988 서울대학교 금속공학 공학사
==경력==
*2010 ~ 2011 Texas 주립 대학교, 방문교수
*2003 ~ 2004 Stanford 대학교, 방문교수
==활동==
*2024.11 ~ 현재 CH³IPS 혁신연구센터장
*2020.1.6 한국공학한림원 정회원 선정(재료자원공학 분야)
*2019 ~ 현재 [[EUV-IUCC]] 센터장
==연구==
* EUV 리소그래피* 비 광학 패터닝* 박막 공정* 3D 프린팅
==수상/선정==
* 2021년 3월 제1회 한국반도체디스플레이기술학회 학술상 * 2020년 1월 '한국공학한림원 신규 정회원'에 선정(재료자원공학 분야)<ref>[http://www.newshyu.com/news/articleView.html?idxno=741543 2020.01.13 <뉴스H> 최재훈·유한규·선양국·안진호 교수, 한국공학한림원 신규 정회원 선정] </ref>* 2015년 10월 반도체산업발전 유공자 선정
==언론 활동==
===교내언론===
* 2020.06.22 <뉴스H> [http://cms.newshyu.com/news/articleView.html?idxno=859343 한양대 EUV-IUCC, 과기정통부 EUV 핵심소재 국산화 프로젝트 참여]*2024.02.26 <뉴스H> [http://www.newshyu.com/news/articleView.html?idxno=1013261 “한양대, CH³IPS 혁신연구센터로 반도체 기술 한계 돌파한다…반도체 산업 초격차 확보 위한 도약”]
===대외언론===
* 2020.01.02 <전자신문> '슬프지만 우리 편은 없다' 글 기고 http://www.etnews.com/20191231000081* 2020.01.10 <전자신문> 듀폰 포토레지스트 투자에 대한 코멘트 https://www.etnews.com/20200109000111
[[분류:교수]]
[[분류:신소재공학부]]
<references />
