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오혜근
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오혜근은 ERICA캠퍼스 [[응용물리학과]] 교수다. =학력= * 1980 서울대 이학사 * 1982 서울대 이학석사 * 1989 미국 인디애나대학 이학박사 =경력= * 현대전자 반도체연구소 * 2009.09-2011.08 [[이학기술연구소]]장 =연구관심분야= * 반도체 소자 양산을 위한 리소그래피 * 극자외선 펠리클 * 계산 리소그래피 =주요논문= * “Impact of a deformed extreme ultraviolet pellicle in terms of the critical dimension uniformity“ J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS, Vol.15(2), 021003 (2016). * “Mechanical deflection of a free-standing pellicle for extreme ultraviolet”, Microelectronic Engineering, 143, 81 (2015). * “Study of Temperature Behaviors for a Pellicle in Extreme-Ultraviolet Lithography: Mesh Structure”, Jpn. J. Appl. Phys. 52 126506 (2013). =언론 활동= [[분류: 교수]]
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