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한양대학교 서울캠퍼스 [[공과대학]] [[신소재공학부]] 교수이자 EUV-IUCC 센터장을 맡고 있다. [[나노공정 및 소자 연구실]]장이다. *연락처: 02-2220-0407 / jhanhn@hanyang.ac.kr *홈페이지: http://msenano.hanyang.ac.kr/ ==학력== *1989 ~ 1992 Texas 주립 대학교 재료공학 공학박사 *1982 ~ 1988 서울대학교 금속공학 공학사 *1986 ~ 1986 서울대학교 금속공학 공학석사 ==경력== *2010 ~ 2011 Texas 주립 대학교, 방문교수 *2003 ~ 2004 Stanford 대학교, 방문교수 *1995 ~ 현재 한양대학교 신소재공학부, 교수 *1992 ~ 1995 일본 NEC 연구소, 연구원 *1992 ~ 1995. NEC Corporation Microelectronics Research Laboratories, 연구원 ==활동== *2020.1.6 한국공학한림원 정회원 선정(재료자원공학 분야) *2019 ~ 현재 [[EUV-IUCC]] 센터장 *2014 ~ 현재 한양대학교 산학협력단 단장/학술연구처장 *2012 ~ 2014 한국연구재단 국책연구본부, 나노융합단장 *2012 ~ 현재 방사광가속기이용자협의회, 이사 *2011 ~ 현재 국가나노인프라 협의체, 이사 *2011 ~ 현재 Electronic Material Letters, 편집이사 *2011 ~ 2012 한양대학교, 부학장 *2010 ~ 2012 한국연구재단, RB *2010 ~ 2011 국가과학기술위원회, 위원 *2009 ~ 2011 시스템 집적회로 2010 사업단, 전문위원 *2008 ~ 현재 텍사스주 FUSION Consortium, 상임이사 *2007 ~ 현재 극자외선 노광기술 워크샵, 창립위원 *2007 ~ 2012 극자외선 노광기술 개발사업단, 단장 *2006 ~ 2011 디스플레이용 노광기개발사업단, 총괄책임자 *2005 ~ 2012 한국반도체연구조합, 국제협력 전문위원 *2004 ~ 2009 차세대성장동력 반도체사업단, 전문위원 *2002 ~ 2011 극자외선노광기술 개발사업단, 총괄책임자 *1999 ~ 현재 극자외선 노광기술 학술대회, 창립 위원 *1998 ~ 현재 국제 마이크로. 나노. 컨퍼런스, 창립위원 ==연구== * EUV 리소그래피 * 비 광학 패터닝 * 박막 공정 * 3D 프린팅 ==수상/선정== * 2021년 3월 제1회 한국반도체디스플레이기술학회 학술상 * 2020년 1월 '한국공학한림원 신규 정회원'에 선정(재료자원공학 분야)<ref>[http://www.newshyu.com/news/articleView.html?idxno=741543 2020.01.13 <뉴스H> 최재훈·유한규·선양국·안진호 교수, 한국공학한림원 신규 정회원 선정] </ref> * 2015년 10월 반도체산업발전 유공자 선정 ==언론 활동== ===교내언론=== * 2020.06.22 <뉴스H> [http://cms.newshyu.com/news/articleView.html?idxno=859343 한양대 EUV-IUCC, 과기정통부 EUV 핵심소재 국산화 프로젝트 참여] ===대외언론=== * 2020.01.02 <전자신문> '슬프지만 우리 편은 없다' 글 기고 http://www.etnews.com/20191231000081 * 2020.01.10 <전자신문> 듀폰 포토레지스트 투자에 대한 코멘트 https://www.etnews.com/20200109000111 [[분류:교수]] [[분류:신소재공학부]]
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