오혜근 문서 원본 보기

오혜근은 ERICA캠퍼스 [[응용물리학과]] 교수다.
=학력=
* 1980 서울대 이학사
* 1982 서울대 이학석사
* 1989 미국 인디애나대학 이학박사

=경력=
* 현대전자 반도체연구소
* 2009.09-2011.08 [[이학기술연구소]]장

=연구관심분야=
* 반도체 소자 양산을 위한 리소그래피
* 극자외선 펠리클
* 계산 리소그래피

=주요논문=
* “Impact of a deformed extreme ultraviolet pellicle in terms of the critical dimension uniformity“ J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS, Vol.15(2), 021003 (2016).
* “Mechanical deflection of a free-standing pellicle for extreme ultraviolet”, Microelectronic Engineering, 143, 81 (2015).
* “Study of Temperature Behaviors for a Pellicle in Extreme-Ultraviolet Lithography: Mesh Structure”, Jpn. J. Appl. Phys. 52 126506 (2013).

=언론 활동=
[[분류: 교수]]