https://hyu.wiki/index.php?action=history&feed=atom&title=%EC%95%88%EC%A7%80%ED%9B%88안지훈 - 편집 역사2026-04-08T17:49:46Z이 문서의 편집 역사MediaWiki 1.34.1https://hyu.wiki/index.php?title=%EC%95%88%EC%A7%80%ED%9B%88&diff=54184&oldid=prevJiwongo: 새 문서: 한양대 ERICA 재료화학공학과 교수이다. =연구= ==차세대 반도체 배선 소재 개발<ref><뉴스H> 2022.03.29 [http://www.newshyu.com/news/articleView.html?idxn...2022-03-29T06:02:51Z<p>새 문서: 한양대 ERICA <a href="/%EC%9E%AC%EB%A3%8C%ED%99%94%ED%95%99%EA%B3%B5%ED%95%99%EA%B3%BC" title="재료화학공학과">재료화학공학과</a> 교수이다. =연구= ==차세대 반도체 배선 소재 개발<ref><뉴스H> 2022.03.29 [http://www.newshyu.com/news/articleView.html?idxn...</p>
<p><b>새 문서</b></p><div>한양대 ERICA [[재료화학공학과]] 교수이다.<br />
=연구=<br />
==차세대 반도체 배선 소재 개발<ref><뉴스H> 2022.03.29 [http://www.newshyu.com/news/articleView.html?idxno=1005493 한양대 안지훈 교수, 차세대 반도체 배선 소재 개발]</ref>==<br />
* 원자층증착공정을 이용해 5nm 이하의 매우 얇은 두께에서도 매우 낮은 저항을 유지하는 몰리브데넘카바이드 박막을 구현, 차세대 반도체 배선으로의 응용 가능성을 제시<br />
* 재료화학분야 세계 저명학술지 「Chemistry of Materials」(IF=9.811) 3월호에 게재 (논문명 : Ultra-low Resistivity Molybdenum Carbide Thin Films Deposited by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition Using a Cyclopentadienyl-based Precursor)<br />
<br />
=교내기사=<br />
[[분류:교수]]</div>Jiwongo