https://hyu.wiki/index.php?action=history&feed=atom&title=EUV 2026-04-24T14:43:44Z 이 문서의 편집 역사 MediaWiki 1.34.1 https://hyu.wiki/index.php?title=EUV&diff=49910&oldid=prev 2021-04-15T01:10:43Z

<p><span dir="auto"><span class="autocomment">EUV-IUCC</span></span></p> <table class="diff diff-contentalign-left" data-mw="interface"> <col class="diff-marker" /> <col class="diff-content" /> <col class="diff-marker" /> <col class="diff-content" /> <tr class="diff-title" lang="ko"> <td colspan="2" style="background-color: #fff; color: #222; text-align: center;">← 이전 판</td> <td colspan="2" style="background-color: #fff; color: #222; text-align: center;">2021년 4월 15일 (목) 01:10 판</td> </tr><tr><td colspan="2" class="diff-lineno" id="mw-diff-left-l4" >4번째 줄:</td> <td colspan="2" class="diff-lineno">4번째 줄:</td></tr> <tr><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>* 2011년까지 약 9년간 컨소시엄 형태로 대규모 사업을 진행, EUV 노광기술에 대한 연구 개발이 본격화</div></td><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>* 2011년까지 약 9년간 컨소시엄 형태로 대규모 사업을 진행, EUV 노광기술에 대한 연구 개발이 본격화</div></td></tr> <tr><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"></td><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"></td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>==EUV-IUCC==</div></td><td class='diff-marker'>+</td><td style="color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>==<ins class="diffchange diffchange-inline">[[</ins>EUV-IUCC<ins class="diffchange diffchange-inline">]]</ins>==</div></td></tr> <tr><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>* 2020.11월 출범한 한양대 EUV-IUCC(Industry-University Cooperation Center)는 국내외 대학과 연구소의 연구역량을 결집하여, 관련 기업들과 지속적인 동반성장을 하기 위해 만들어진 협력센터이다.  </div></td><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>* 2020.11월 출범한 한양대 EUV-IUCC(Industry-University Cooperation Center)는 국내외 대학과 연구소의 연구역량을 결집하여, 관련 기업들과 지속적인 동반성장을 하기 위해 만들어진 협력센터이다.  </div></td></tr> <tr><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>* 한양대의 산학협력 프로그램 IUCC 일환으로 국내 유일한 EUV 산학협력센터  </div></td><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>* 한양대의 산학협력 프로그램 IUCC 일환으로 국내 유일한 EUV 산학협력센터  </div></td></tr> </table>

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<p>새 문서: ==EUV 연구== * 1998년 한양대의 소규모 개인연구사업을 통한 EUV 관련 광학소재 연구 * 2002년부터 시작한 산업자원부(현 산업통상자원부) 지...</p> <p><b>새 문서</b></p><div>==EUV 연구==<br /> * 1998년 한양대의 소규모 개인연구사업을 통한 EUV 관련 광학소재 연구 <br /> * 2002년부터 시작한 산업자원부(현 산업통상자원부) 지원 '차세대 신기술 개발사업단'을 발족<br /> * 2011년까지 약 9년간 컨소시엄 형태로 대규모 사업을 진행, EUV 노광기술에 대한 연구 개발이 본격화<br /> <br /> ==EUV-IUCC==<br /> * 2020.11월 출범한 한양대 EUV-IUCC(Industry-University Cooperation Center)는 국내외 대학과 연구소의 연구역량을 결집하여, 관련 기업들과 지속적인 동반성장을 하기 위해 만들어진 협력센터이다. <br /> * 한양대의 산학협력 프로그램 IUCC 일환으로 국내 유일한 EUV 산학협력센터 <br /> * 한양대 [[안진호]] [[신소재공학부]] 교수가 센터장을 맡았다. <br /> * 한양대는 EUV 광원 구현 환경을 갖춘 국내 2개 기관 중 한 곳<br /> * EUV 부품 소재 특성 평가 및 개발이 가능하며 현재 삼성전자, 에스앤에스텍, 에프에스티(FST), 이솔 등과 EUV 관련 기술 공동 개발 프로젝트를 수행 중<br /> <br /> ==관련기사==<br /> * 2020.04.17 &lt;뉴스H&gt; [http://www.newshyu.com/news/articleView.html?idxno=810243 한양대에서 시작된 우리나라 EUV의 역사 속으로]</div>

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