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===2020년 [[삼성미래기술육성사업]] 연구과제 선정(2020.07)=== | ===2020년 [[삼성미래기술육성사업]] 연구과제 선정(2020.07)=== | ||
*'전자를 이용한 1nm급 무손상 원자층 식각 원천 기술’(Disruptive 반도체 구조 및 구현 기술) | *'전자를 이용한 1nm급 무손상 원자층 식각 원천 기술’(Disruptive 반도체 구조 및 구현 기술) | ||
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2021년 2월 10일 (수) 11:09 판
주요연구
2020년 삼성미래기술육성사업 연구과제 선정(2020.07)
- '전자를 이용한 1nm급 무손상 원자층 식각 원천 기술’(Disruptive 반도체 구조 및 구현 기술)
- 관련기사 : <뉴스H> 2020.07.20 정진욱 교수, 2020년 삼성미래기술육성사업 연구과제 선정
