바뀜

* 2011년까지 약 9년간 컨소시엄 형태로 대규모 사업을 진행, EUV 노광기술에 대한 연구 개발이 본격화

* 2020.11월 출범한 한양대 EUV-IUCC(Industry-University Cooperation Center)는 국내외 대학과 연구소의 연구역량을 결집하여, 관련 기업들과 지속적인 동반성장을 하기 위해 만들어진 협력센터이다.

* 한양대의 산학협력 프로그램 IUCC 일환으로 국내 유일한 EUV 산학협력센터