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| + | * 1989 미국 인디애나대학 이학박사 | ||
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| + | * 계산 리소그래피 | ||
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| + | * “Impact of a deformed extreme ultraviolet pellicle in terms of the critical dimension uniformity“ J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS, Vol.15(2), 021003 (2016). | ||
| + | * “Mechanical deflection of a free-standing pellicle for extreme ultraviolet”, Microelectronic Engineering, 143, 81 (2015). | ||
| + | * “Study of Temperature Behaviors for a Pellicle in Extreme-Ultraviolet Lithography: Mesh Structure”, Jpn. J. Appl. Phys. 52 126506 (2013). | ||
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2019년 9월 19일 (목) 17:57 기준 최신판
오혜근은 ERICA캠퍼스 응용물리학과 교수다.
학력
- 1980 서울대 이학사
- 1982 서울대 이학석사
- 1989 미국 인디애나대학 이학박사
경력
- 현대전자 반도체연구소
- 2009.09-2011.08 이학기술연구소장
연구관심분야
- 반도체 소자 양산을 위한 리소그래피
- 극자외선 펠리클
- 계산 리소그래피
주요논문
- “Impact of a deformed extreme ultraviolet pellicle in terms of the critical dimension uniformity“ J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS, Vol.15(2), 021003 (2016).
- “Mechanical deflection of a free-standing pellicle for extreme ultraviolet”, Microelectronic Engineering, 143, 81 (2015).
- “Study of Temperature Behaviors for a Pellicle in Extreme-Ultraviolet Lithography: Mesh Structure”, Jpn. J. Appl. Phys. 52 126506 (2013).
