바뀜

둘러보기로 가기 검색하러 가기
168 바이트 추가됨 ,  5년 전
편집 요약 없음
한양대학교 [[융합연구]] 관련 [[IUCC]] 연구소 중 하나다. 센터장은 [[안진호]] [[신소재공학부]] 교수.
==개요==
*역할 및 기능: EUV-IUCC는 국내외 대학과 연구소의 연구역량을 결집하여, 관련 기업들과 지속적인 동반성장을 하기 위해 만들어진 국내 유일의 EUV 산학협력센터이다.
==행사==
* 2019.11.27 ‘EUV 노광기술 생태계 조성을 위한 산학협력 포럼’ 개최<ref><뉴스H> 2019.11.27 국내 유일 EUV 산학협력센터 ‘한양대 EUV-IUCC’, 산학협력포럼 개최</ref>
** ASML의 EUV 노광장비의 개발현황 및 계획, EUV 관련한 연구개발 인프라에 대한 소개
** 국내외 반도체 산업과 EUV 노광기술과 관련한 국내외 동향 발표
* 웨이퍼 열변형 특성 및 수명 예측
* 방사광 기반 첨단 분석 EUV 레지스트 특성 평가
==주석==
<references/>

편집

5,728

둘러보기 메뉴