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* EUV 광 조사 시의 열 전달 해석 시뮬레이션
===제공 혜택===* 기초 응용 연구 및 결과 공유를 통해 회원사의 EUV 기술 역량 강화 지원* 회원사에 최신 EUV 기술 및 동향 정보의 주기적 제공* 정부 지원 프로그램 관련 정보 제공* 세계 최고 수준의 연구 인력 및 인프라와 협력 기회 제공을 통해 회원사의 EUV 관련 연구 지원* 회원사의 새로운 제품 디자인, 프로토타입, 제작을 위해 센터의 지적 재산 제공 ===전문가 그룹===* [[안진호]] 한양대* [[오혜근]] 한양대* [[박진구]] 한양대* [[육세진]] 한양대* [[김학성]] 한양대* [[김태곤]] 한양대* [[이상설]] 한양대* Jiyoung Kim - UT-Dallas* Greg Denbeaux - SUNY Polytech* 김형근 전자부품연구원* [[박진성]] 한양대* [[성명모]] 한양대* Yasin Ekinci - Paul Scherrer Institute* Vivek Bakshi - EUV Litho Inc. ==회원사 혜택==
# 최신 기술 동향 리포트 및 연구 자료 데이터베이스 제공
# 연구 동향 세미나 및 워크샵을 통한 협업 네트워킹

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