서울 공과대학 신소재공학부 교수이자 EUV-IUCC 센터장을 맡고 있다.
- 1989 ~ 1992 Texas 주립 대학교 재료공학 공학박사
- 1982 ~ 1988 서울대학교 금속공학 공학사
- 1986 ~ 1986 서울대학교 금속공학 공학석사
경력
- 2010 ~ 2011 Texas 주립 대학교, 방문교수
- 2003 ~ 2004 Stanford 대학교, 방문교수
- 1995 ~ 현재 한양대학교 신소재공학부, 교수
- 1992 ~ 1995 일본 NEC 연구소, 연구원
- 1992 ~ 1995. NEC Corporation Microelectronics Research Laboratories, 연구원
활동
- 2020.1.6 한국공학한림원 정회원 선정(재료자원공학 분야)
- 2019 ~ 현재 EUV-IUCC 센터장
- 2014 ~ 현재 한양대학교 산학협력단 단장/학술연구처장
- 2012 ~ 2014 한국연구재단 국책연구본부, 나노융합단장
- 2012 ~ 현재 방사광가속기이용자협의회, 이사
- 2011 ~ 현재 국가나노인프라 협의체, 이사
- 2011 ~ 현재 Electronic Material Letters, 편집이사
- 2011 ~ 2012 한양대학교, 부학장
- 2010 ~ 2012 한국연구재단, RB
- 2010 ~ 2011 국가과학기술위원회, 위원
- 2009 ~ 2011 시스템 집적회로 2010 사업단, 전문위원
- 2008 ~ 현재 텍사스주 FUSION Consortium, 상임이사
- 2007 ~ 현재 극자외선 노광기술 워크샵, 창립위원
- 2007 ~ 2012 극자외선 노광기술 개발사업단, 단장
- 2006 ~ 2011 디스플레이용 노광기개발사업단, 총괄책임자
- 2005 ~ 2012 한국반도체연구조합, 국제협력 전문위원
- 2004 ~ 2009 차세대성장동력 반도체사업단, 전문위원
- 2002 ~ 2011 극자외선노광기술 개발사업단, 총괄책임자
- 1999 ~ 현재 극자외선 노광기술 학술대회, 창립 위원
- 1998 ~ 현재 국제 마이크로. 나노. 컨퍼런스, 창립위원
연구
- EUV 리소그래피
- 비 광학 패터닝
- 박막 공정
- 3D 프린팅
수상/선정
- 2020년 1월 '한국공학한림원 신규 정회원'에 선정(재료자원공학 분야)
- 2015년 10월 반도체산업발전 유공자 선정