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한양대학교 서울캠퍼스 공과대학 신소재공학부 교수이자 EUV-IUCC 센터장을 맡고 있다.

나노공정 및 소자 연구실장이다.

학력

  • 1989 ~ 1992 Texas 주립 대학교 재료공학 공학박사
  • 1982 ~ 1988 서울대학교 금속공학 공학사
  • 1986 ~ 1986 서울대학교 금속공학 공학석사

경력

  • 2010 ~ 2011 Texas 주립 대학교, 방문교수
  • 2003 ~ 2004 Stanford 대학교, 방문교수
  • 1995 ~ 현재 한양대학교 신소재공학부, 교수
  • 1992 ~ 1995 일본 NEC 연구소, 연구원
  • 1992 ~ 1995. NEC Corporation Microelectronics Research Laboratories, 연구원

활동

  • 2020.1.6 한국공학한림원 정회원 선정(재료자원공학 분야)
  • 2019 ~ 현재 EUV-IUCC 센터장
  • 2014 ~ 현재 한양대학교 산학협력단 단장/학술연구처장
  • 2012 ~ 2014 한국연구재단 국책연구본부, 나노융합단장
  • 2012 ~ 현재 방사광가속기이용자협의회, 이사
  • 2011 ~ 현재 국가나노인프라 협의체, 이사
  • 2011 ~ 현재 Electronic Material Letters, 편집이사
  • 2011 ~ 2012 한양대학교, 부학장
  • 2010 ~ 2012 한국연구재단, RB
  • 2010 ~ 2011 국가과학기술위원회, 위원
  • 2009 ~ 2011 시스템 집적회로 2010 사업단, 전문위원
  • 2008 ~ 현재 텍사스주 FUSION Consortium, 상임이사
  • 2007 ~ 현재 극자외선 노광기술 워크샵, 창립위원
  • 2007 ~ 2012 극자외선 노광기술 개발사업단, 단장
  • 2006 ~ 2011 디스플레이용 노광기개발사업단, 총괄책임자
  • 2005 ~ 2012 한국반도체연구조합, 국제협력 전문위원
  • 2004 ~ 2009 차세대성장동력 반도체사업단, 전문위원
  • 2002 ~ 2011 극자외선노광기술 개발사업단, 총괄책임자
  • 1999 ~ 현재 극자외선 노광기술 학술대회, 창립 위원
  • 1998 ~ 현재 국제 마이크로. 나노. 컨퍼런스, 창립위원

연구

  • EUV 리소그래피
  • 비 광학 패터닝
  • 박막 공정
  • 3D 프린팅

수상/선정

  • 2021년 3월 제1회 한국반도체디스플레이기술학회 학술상
  • 2020년 1월 '한국공학한림원 신규 정회원'에 선정(재료자원공학 분야)[1]
  • 2015년 10월 반도체산업발전 유공자 선정

언론 활동

2020.1.2 <전자신문> '슬프지만 우리 편은 없다'] 글 기고 http://www.etnews.com/20191231000081

  1. 2020.01.13 <뉴스H> 최재훈·유한규·선양국·안진호 교수, 한국공학한림원 신규 정회원 선정 http://www.newshyu.com/news/articleView.html?idxno=741543