EUV

EUV 연구

• 1998년 한양대의 소규모 개인연구사업을 통한 EUV 관련 광학소재 연구
• 2002년부터 시작한 산업자원부(현 산업통상자원부) 지원 '차세대 신기술 개발사업단'을 발족
• 2011년까지 약 9년간 컨소시엄 형태로 대규모 사업을 진행, EUV 노광기술에 대한 연구 개발이 본격화

EUV-IUCC

• 2020.11월 출범한 한양대 EUV-IUCC(Industry-University Cooperation Center)는 국내외 대학과 연구소의 연구역량을 결집하여, 관련 기업들과 지속적인 동반성장을 하기 위해 만들어진 협력센터이다.
• 한양대의 산학협력 프로그램 IUCC 일환으로 국내 유일한 EUV 산학협력센터
• 한양대 안진호 신소재공학부 교수가 센터장을 맡았다.
• 한양대는 EUV 광원 구현 환경을 갖춘 국내 2개 기관 중 한 곳
• EUV 부품 소재 특성 평가 및 개발이 가능하며 현재 삼성전자, 에스앤에스텍, 에프에스티(FST), 이솔 등과 EUV 관련 기술 공동 개발 프로젝트를 수행 중

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