오혜근

오혜근은 ERICA캠퍼스 응용물리학과 교수다.

학력

• 1980 서울대 이학사
• 1982 서울대 이학석사
• 1989 미국 인디애나대학 이학박사

경력

• 현대전자 반도체연구소
• 2009.09-2011.08 이학기술연구소장

연구관심분야

• 반도체 소자 양산을 위한 리소그래피
• 극자외선 펠리클
• 계산 리소그래피

주요논문

• “Impact of a deformed extreme ultraviolet pellicle in terms of the critical dimension uniformity“ J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS, Vol.15(2), 021003 (2016).
• “Mechanical deflection of a free-standing pellicle for extreme ultraviolet”, Microelectronic Engineering, 143, 81 (2015).
• “Study of Temperature Behaviors for a Pellicle in Extreme-Ultraviolet Lithography: Mesh Structure”, Jpn. J. Appl. Phys. 52 126506 (2013).