EUV-IUCC

한양대학교 융합연구 관련 IUCC 연구소 중 하나다. 센터장은 안진호 교수.

개요

• 역할 및 기능: EUV-IUCC는 국내외 대학과 연구소의 연구역량을 결집하여, 관련 기업들과 지속적인 동반성장을 하기 위해 만들어진 국내 유일의 EUV 산학협력센터이다.

설립목적

• EUV 산업 정착과 확산, 국내 EUV 산업 기술 생태계 활성화
• EUV 공정의 비용, 소재 미흡, 기술적 한계 해결
  • ASML의 EUV 장비 독점공급으로 인한 높은 비용 부담
  • 상용화에 성공했으나 국내 반도체 업계도 준비가 미흡한 상태
  • 기존의 노광기술과 다른 원리의 적용에 따른 극자외선 노광기술의 기술적 문제
• 한양대 산학협력 프로그램 IUCC(Indusry University Cooperation Center)의 일환으로 선정

목표

• 국내외 대학과 연구소의 연구역량 결집, 관련 기업들과의 지속적인 동반성장
• 기업들이 필요한 기술, 독자적으로 얻기 힘든 첨단 기술 및 산업 정보 제공
• 산업체 인력 대상 교육 프로그램 마련

행사

• 2019.11.27 ‘EUV 노광기술 생태계 조성을 위한 산학협력 포럼’ 개최
  • ASML의 EUV 노광장비의 개발현황 및 계획, EUV 관련한 연구개발 인프라에 대한 소개
  • 국내외 반도체 산업과 EUV 노광기술과 관련한 국내외 동향 발표
  • EUVL 관련 생태계 조성에 필요한 의견을 모으는 패널토론

확보 기술

• EUV 마스크 및 펠리클 광학 검사 기술
• 웨이퍼 열변형 특성 및 수명 예측
• 방사광 기반 첨단 분석 EUV 레지스트 특성 평가