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** 상용화에 성공했으나 국내 반도체 업계도 준비가 미흡한 상태
** 기존의 노광기술과 다른 원리의 적용에 따른 극자외선 노광기술의 기술적 문제
* 한양대 산학협력 프로그램 [[IUCC]](Indusry University Cooperation Center)의 일환으로 선정
==목표==

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