주 메뉴 열기
한양 위키
검색
플라즈마전자공학연구실 문서 원본 보기
←
플라즈마전자공학연구실
문서 편집 권한이 없습니다. 다음 이유를 확인해주세요:
요청한 명령은 다음 권한을 가진 사용자에게 제한됩니다: emailconfirmed.
문서를 고치려면 이메일 인증 절차가 필요합니다.
사용자 환경 설정
에서 이메일 주소를 입력하고 이메일 주소 인증을 해주시기 바랍니다.
문서의 원본을 보거나 복사할 수 있습니다.
본 연구실은 플라즈마 물성 연구 및 진단, 플라즈마 가열 메커니즘 및 플라즈마 식각(etching) 메커니즘 연구, 대기압 플라즈마 발생 및 제어, 차세대 플라즈마 소스 개발,전자기 및 유동 시뮬레이션, 무선 전력 전송 개발 등을 하고 있으며, 최신 플라즈마 진단 기술을 반도체 공정 장비에 적용할 수 있으며 실시간 모니터링 센서(In-Situ Process Monitoring Sensors)의 개발도 하고 있습니다. 플라즈마전자공학연구실 홈페이지 참고(2019.11) *소속: 서울 [[공과대학]] [[전기생체공학부]] [[전기공학전공]] *영문명: Plasma Electronics Lab *실장: [[정진욱]] [[전기생체공학부]] [[전기공학전공]] 교수 *홈페이지: http://plasma.hanyang.ac.kr/index.php = 주요 연구 = *반도체/디스플레이용 플라즈마 진단 모니터링 Plasma Diagnostics & Monitoring *반도체/ 디스플레이용 플라즈마 소스 Plasma Sources for Processing *무선 전력 전송 Wireless Power Transfer [[분류:연구실]]
플라즈마전자공학연구실
문서로 돌아갑니다.