정진욱(공과대학)

정진욱은 서울 공과대학 전기생체공학부 교수이다.

주요연구

2020년 삼성미래기술육성사업 연구과제 선정(2020.07)

• '전자를 이용한 1nm급 무손상 원자층 식각 원천 기술’(Disruptive 반도체 구조 및 구현 기술)
• 전자를 이용해 반도체 기판을 손상시키지 않으면서 반도체 웨이퍼를 1㎚급으로 깎아내는 식각 원천 기술을 개발할 계획
• 실리콘 기판의 손상 없이 원자를 대면적 식각할 수 있는 기술을 개발하는 것이 목표, 이 기술이 상용화되면 현재 한계에 다다른 반도체 성능을 1000~1만배 높일 수 있을 것으로 기대
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