학력
경력
연구관심분야
- 플라즈마 진단 Advanced Plasma Dagnostics
- 전기적 & 광학적 방법 (Electrical & Optical method)
- 2D 플라즈마 분석 (2D Plasma Analysis)
- 공정 모니터링 (Processing Monitoring)
- 반도체/ 디스플레이용 플라즈마 소스 Plasma Sources for Processing
- 차세대 플라즈마 개발
- 전력 효율 및 전력 특성 개선 연구
- 고밀도 플라즈마 물성 분석 (High density plasma)
- 전자기 컴퓨터 모사 (E&M Field Analysis)
- 무선 전력 전송 Wireless Power Transfer