플라즈마전자공학연구실

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플라즈마전자공학연구실 홈페이지 참고(2019.11)

주요 연구

  • 반도체/디스플레이용 플라즈마 진단 모니터링 Plasma Diagnostics & Monitoring
  • 반도체/ 디스플레이용 플라즈마 소스 Plasma Sources for Processing
  • 무선 전력 전송 Wireless Power Transfer
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